摘要　恒壓式氣體微流量計(jì) ( C PFM ) 被多個(gè)實(shí)驗(yàn)室選作為計(jì)量學(xué)設(shè)備 , 用來(lái)校準(zhǔn)真空規(guī)和真空漏孔。該文從理論上對(duì) CPFM 和帶參考室的 CPFM的流量測(cè)量誤差進(jìn)行了分析。測(cè)量過(guò)程中溫度波動(dòng)和壓力波動(dòng)對(duì) CPFM的流量測(cè)量誤差作用較大。為 CPFM 增加一個(gè)適當(dāng)?shù)膮⒖际?, 可以減小測(cè)量過(guò)程中變?nèi)菔覝囟茸兓瘜?duì) C PFM 的流量測(cè)量誤差的貢獻(xiàn)。

1、引言：
   本世紀(jì) 60年代以后 , 由于動(dòng)態(tài)流量法真空標(biāo)準(zhǔn)的需求 , 促進(jìn)了高準(zhǔn)確度的氣體微流量計(jì)的發(fā)展。 恒壓式氣體微流量計(jì)因?yàn)榫哂辛砍虒挕?測(cè)量準(zhǔn)確、 輸出流量穩(wěn)定等特點(diǎn) , 被多個(gè)實(shí)驗(yàn)室選作為計(jì)量學(xué)設(shè)備 , 用來(lái)校準(zhǔn)真空規(guī)和真空參考漏孔[1～ 8 ]。本文從測(cè)量原理方面對(duì)恒壓式氣體微流量計(jì)可能存在的測(cè)量誤差進(jìn)行理論分析 , 并根據(jù)結(jié)果對(duì)恒壓式氣體微流量計(jì)的設(shè)計(jì)給出一些建議。

2、恒壓式氣體微流量計(jì)的測(cè)量誤差分析：
   設(shè)恒壓式氣體微流量計(jì)的變?nèi)菔抑袣怏w在測(cè)量起始時(shí)的壓力、 體積和溫度分別為 P、 V和 T,測(cè)量結(jié)束時(shí)的壓力變化量、體積變化量和溫度變化量分別為 ΔP、ΔV 和 ΔT ,測(cè)量時(shí)間為 Δt ,則流量值 Q由式 ( 1) 表示。 式中 R為普適氣體常數(shù)。
  1R ( P + ΔP )   ( V + ΔV )T + ΔT-P   VT 1Δt( 1)　 　設(shè)各參量的實(shí)際測(cè)量值分別存在測(cè)量誤差 WP、WT、W(ΔV )、W(Δt) 和 WQ,流量的測(cè)量值Q′為Q′=P′R  T′ ΔV′Δt′= Q+ WQ ( 2)其中　 P′= P +12ΔP + WP;　ΔV′= ΔV + W(ΔV );　Δt′= Δt + W(Δt) ;　 T′= T +12ΔT + WT。
   則流量的測(cè)量誤差為WQ =P +12ΔP + WPR  T′ ΔV + W(ΔV )Δt + W(Δt)-1R×( P + ΔP )   ( V + ΔV )T′+12ΔT – WT-P   VT′-12ΔT – WT 1Δt( 3)　　為便于計(jì)算和討論 , 令流量的測(cè)量誤差相對(duì)值近似為WQQ=WQPR  T′ ΔVΔt( 4)　　由于 W(ΔV )   ΔV、 W(Δt )   Δt、 WP   P、ΔP   P、 WT   T′、 ΔT   T′,故可省略W(ΔV )、W(Δt )、WP、ΔP、WT 和 ΔT 的二次以上 (含二次 ) 項(xiàng) , 則式 ( 4) 可以簡(jiǎn)化為:WQQ=WPP+W(ΔV )ΔV-WTT′-W(Δt)Δt+ΔTT′-ΔPP V-ΔV( 5)其中　 V-= V +12ΔV 。 另外 , 還需要考慮氣體微流量計(jì)的吸放氣和漏氣問(wèn)題。 如果其吸放氣率和漏率分別為 QG和 QL , 則流量測(cè)量誤差為WQQ=WPP+W(ΔV )ΔV-WTT′-W(Δt)Δt+Δ TT′-ΔPP V-ΔV+QGQ+QLQ( 6)　　將式 ( 6)的等號(hào)兩邊取值 , 則恒壓式氣體微流量計(jì)的流量測(cè)量誤差為WQQ≤WPP+W(ΔV )ΔV+WTT′+W(Δt )Δt+WQTPQ+QGQ+QLQ( 7)其中　WQTPQ=ΔTT′-ΔPP V-ΔV, 這一項(xiàng)誤差主要由測(cè)量過(guò)程中變?nèi)菔业臏囟炔▌?dòng)和壓力波動(dòng)引起 , 溫度和壓力的變化被系數(shù)V-ΔV放大后 , 使 WQTP項(xiàng)較大。若要減小這項(xiàng)誤差 , 除了在測(cè)量過(guò)程中盡量減小溫度波動(dòng)和壓力波動(dòng)以外 , 更要在設(shè)計(jì)恒壓式氣體微流量計(jì)時(shí)盡可能增大 ΔV 和減小 V。但是必須注意 , 增大 ΔV 會(huì)延長(zhǎng)測(cè)量時(shí)間 , 引起溫度波動(dòng)和壓力波動(dòng)增大 , V 太小又會(huì)帶來(lái)壓力測(cè)量的誤差和困難。

3、帶參考室的恒壓式氣體微流量計(jì)：
   為了拓展恒壓式氣體微流量計(jì)的測(cè)量范圍 , 變?nèi)菔覂?nèi)氣體的工作壓力通常可以在多個(gè)數(shù)量級(jí)范圍設(shè)定 , 而在對(duì)變?nèi)菔覂?nèi)的氣體進(jìn)行恒壓控制時(shí) , 又必須能夠靈敏地測(cè)量出變?nèi)菔覂?nèi)氣體壓力的微小變化。 顯然 , 若采用同一只真空規(guī)來(lái)準(zhǔn)確而靈敏地測(cè)量變?nèi)菔覂?nèi)的氣體壓力及其變化是非常困難的。 為此 , 用于真空計(jì)量學(xué)的恒壓式氣體微流量計(jì)都增加了一個(gè)參考室 , 測(cè)量前在參考室中封存與變?nèi)菔抑袎毫Υ笾孪嗤臍怏w。測(cè)量時(shí) , 參考室密閉 ,利用差壓式真空規(guī)測(cè)量變?nèi)菔蚁鄬?duì)于參考室的壓力差 DP ,測(cè)控系統(tǒng)控制變?nèi)菔业娜莘e使差壓式真空規(guī)的測(cè)量值恒定。
   假設(shè)測(cè)量起始時(shí)參考室的壓力和溫度分別為 PR 和 TR ,測(cè)量結(jié)束時(shí)參考室的壓力變化量和溫度變化量分別為ΔPR和ΔTR ,變?nèi)菔蚁鄬?duì)于參考室的壓力差變化量為Δ (DP ) ,參考室壓力的測(cè)量誤差和差壓式真空規(guī)的測(cè)量誤差分別為 WPR 和 WDP; 流量的測(cè)量值 Q′仍用式( 2) 計(jì)算 ,但其中的 P′為P′= PR +12ΔPR + ΔDP + WPR + WDP ( 8)　　則流量的測(cè)量誤差為WQR =PR +12[ΔPR + ΔDP ] + WPR + WDPR   T′ ΔV + W(ΔV )Δt+ W(Δt)-1R ( PR + ΔPR + ΔDP )   ( V + ΔV )T′+12Δ T – WT-PR   VT′-12ΔT – WT 1Δt( 9)
　同樣 , 為便于計(jì)算和討論 , 令流量的測(cè)量誤差相對(duì)值近似為WQRQR=WQRPRR  T′ ΔVΔt( 10)　　省略去 W(ΔV )、W(Δt )、WPR、ΔPR、WDP、ΔDP、WT 和 ΔT 的二次以上 (含二次 ) 項(xiàng) , 則式( 10)簡(jiǎn)化為WQRQR=WPR + WDPPR+W(ΔV )ΔV-WTT′-W(Δt)Δt+ΔTT′-ΔPR + ΔDPPR V-ΔV　　 ( 11)　　再考慮到氣體微流量計(jì)的吸放氣和漏氣問(wèn)題后 , 則恒壓式氣體微流量計(jì)的流量測(cè)量誤差為WQRQR≤WPR + WDPPR+W(ΔV )ΔV+WTT′+W(Δt )Δt+WQRTPQR+QGQR+QLQR( 12)其中　WQRTPQR=ΔTT′-ΔPR + ΔDPPR V-ΔV由于變?nèi)菔覂?nèi)的壓力是通過(guò)測(cè)量參考室的壓力和測(cè)量變?nèi)菔蚁鄬?duì)于參考室的壓力差而得到的 , 故式 ( 11)、 ( 12)也可以分別直接由式 ( 5)、 ( 7)而得到 , 即測(cè)量過(guò)程中變?nèi)菔业膲毫ψ兓?ΔP 等于 ΔPR + ΔDP ,變?nèi)菔业膲毫y(cè)量誤差WP 對(duì)應(yīng)于 WPR + WDP。但是 ,WQRTPQR項(xiàng)與WQTPQ項(xiàng)不僅僅是形式上的不同 ,WQTPQ項(xiàng)中變?nèi)菔业膲毫ψ兓?ΔP 主要由恒壓控制效果確定 ,與溫度變化ΔT沒(méi)有關(guān)系;而在WQRTPQR項(xiàng)中則不同了 ,測(cè)控系統(tǒng)僅控制ΔDP恒定 ,ΔPR 與 Δ T可以有密切關(guān)系。在流量測(cè)量過(guò)程中 ,參考室是密閉的。假設(shè)參考室在測(cè)量過(guò)程中無(wú)吸放氣和漏氣現(xiàn)象 ,ΔPR完全是由于溫度變化而引起的 , 則參考室中的氣體應(yīng)當(dāng)符合波義耳 -馬略特定律:PR + ΔPRTR + ΔTR=PRTR( 13)　　從式 ( 13) 中解出 ΔPR , 代入WQRTPQR項(xiàng) , 則WQRTPQR=ΔTT′-ΔTRTR-ΔDPPR V-ΔV　其中 , ΔDP 主要由恒壓控制效果確定 , 與溫度變化 ΔT 和 ΔTR 都沒(méi)有關(guān)系; 而參考室的 溫度變化量只要與變?nèi)菔业臏囟茸兓拷咏?, 就可以減小變?nèi)菔业臏囟茸兓瘜?duì)WQRTPQR項(xiàng)誤差的貢獻(xiàn)。因此 , 在設(shè)計(jì)恒壓式氣體微流量計(jì)時(shí) , 要使變?nèi)菔遗c參考室的熱容量和環(huán)境條件都盡可能相同。

4、結(jié)論：
   對(duì)于恒壓式氣體微流量計(jì) , 測(cè)量過(guò)程中變?nèi)菔业臏囟茸兓蛪毫ψ兓瘜?duì)流量測(cè)量誤差的貢獻(xiàn)比較大。用于真空計(jì)量學(xué)的恒壓式氣體微流量計(jì)都帶有一個(gè)參考室 , 它不利于對(duì)變?nèi)菔业臍怏w壓力及其變化進(jìn)行準(zhǔn)確而靈敏地測(cè)量 , 從而拓展氣體微流量的測(cè)量范圍; 而且只要設(shè)計(jì)合理 , 還可以減小變?nèi)菔业臏囟茸兓瘜?duì)流量測(cè)量誤差的貢獻(xiàn)。